被测试的导向系统展现了一种独特的无尘室适用性。 在这方面，个别无尘室等级必须考虑所需的速度和载荷。 根据SEMI E78-0998（评价），iglidur ® J和硬质阳极化铝的结合在 ESD相容性中是“第1级”。
所有直线导轨专为干运行设计，并在此条件下经过了测试。 无需油或油脂被用作额外的润滑剂。
以下来自易格斯的导向系统已经过测试：N40, W10, T25和T30
易格斯制造的直线导向系统 NK- 02 - 40 - 02，在速度为1 米/秒时，检测尺寸可能与计算的阈值相差0.2 μ m， 0.3 μ m， 0.5 μ m和5 μ m。这符合在无尘室内按照DIN EN 14644-1制定的ISO 6级标准。
根据 SEMI E78-0998 ESD相容性测量结果表明，直线导向系统 NK- 02 - 40 - 02可被归类为“1级” 。 Fraunhofer IPA 报告编号：IG 0308- 295 73
易格斯直线导向系统 TK-01-30-01，在速度为0.1 米 /秒时，检测尺寸可能与计算的阈值相差0.2 μ m， 0.3 μ m， 0.5 μ m和5 μ m。这符合在无尘室内按照DIN EN 14644-1制定的ISO 3级标准 “
易格斯直线导向系统 TK-01-25-02，在速度为0.1 米 /秒时，检测尺寸可能与计算的阈值相差0.2 μ m， 0.3 μ m， 0.5 μ m和5 μ m。这符合在无尘室内按照DIN EN 14644-1制定的ISO 1级标准
根据 SEMI E78-0998 ESD相容性测量结果表明，直线导向系统 TK-01-25-02可被归类为“1级” 。
易格斯制造的直线导向系统 TK-10-30-01，在速度为1 m/s时，检测尺寸可能与计算的阈值相差0.2 μ m， 0.3 μ m， 0.5 μ m和5 μ m。这符合在无尘室内按照DIN EN 14644-1制定的ISO 6级标准。
根据 SEMI E78-0998 ESD相容性测量结果表明，直线导轨drylin ® WK-10-40- 15-01可被归类为“1级” 。 Fraunhofer IPA 报告编号：IG 0308- 295 74
